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產品展示

臥式連續生產線

瀏覽:302    日期:2019-07-16

詳細參數
 設備簡介
該生產線應用了納米材料薄膜技術、真空磁控濺射技術、最新智能自動化控制總線等技術,使用了新型的平面磁控陰極。同一般鍍膜生產線相比,融匯了更多高新技術,有效克服了以往許多生產線的不足,顯著提高了設備的穩定性和性價比,使設備更合理更人性化。鍍膜腔室采用單元式結構,可根據不同工藝需求,可靈活調整陰極和和泵組位;靈活的陰極擋板結構,節約了更換靶材及清理工序的周期;高質量國產化品牌元器件的使用不僅降低了設備制造成本和使用成本,也減少了設備故障恢復時間和成本,降低了客戶對該設備的使用成本和技術要求。
設備特點與配置參數
1、整條生產線為臥式水平輸送結構,生產方式為連續一次性生產。
2、真空箱體的模塊化設計和加工,提高了部件的互換性,
3、配置了性能優良的陰極和電源,提高了陰極工作的穩定性和生產效率。
4、配置了獨立控制的工藝氣體,采用二進制的5段送氣,提高了工藝氣體的均勻性,提高了膜層橫向的均勻性
5、采用先進的分子泵抽氣系統,杜絕真空室油污染,運行高效可靠。
6、采用了抽氣腔和陰極腔隔離結構,分子泵、陰極獨立布置,氣體隔離效果好
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